可適配于RLS系列射頻電源使用，廣泛應用于等離子刻蝕、鍍膜、等離子清洗、等離子去膠等工藝。單獨使用時，可與其他廠家射頻電源配套使用。

RHH系列射頻電源依靠成熟的射頻發生技術為基礎，為客戶提供更大的功率、精度更高、響應快速的射頻電源。具有相位可設、脈沖可控、數字調諧等功能。適用領域：光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。
適用工藝：等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。

RLS系列射頻電源采用目前穩定可靠的功率放大器和公司最核心的直流控制系統，從而使產品具有非常穩定的性能，產品可靠性高。采用中英文顯示界面，操作簡便。主要應用于光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。